S.C. Schaeffler Romania S.R.L.
INFORMAȚII SUPLIMENTARE
Catalog de produse cu sistem de selectare şi consiliere
Ghidaj linear cu role recirculante KUVE (ghidaj linear cu bile recirculante)CONTACT
Litografie
Ghidajele liniare foarte precise pentru mesele în coordonate
Pentru a monta structuri pe cipuri, acestea se acoperă cu un strat fotosensibil. Stratul fotosensibil se expune la lumină printr-o mască şi se descompune acolo unde este iluminat.
În fabricaţia de semiconductori din generaţia viitoare, se tinde spre dimensiuni ale structurii de 60 nm, pentru a se atinge densităţi de memorie şi viteze de conectare mai mari.
Mesele în coordonate acţionate cu motor liniar asgură mişcarea substratului şi a măştii de proiecţie. Baza maşinii o formează o construcţie stabilă, amortizată la vibraţii, din granit, şi un ghidaj foarte precis, de ex. ghidajul linear cu role de tip RUE de la INA. Acest ghidaj extrem de silenţios se caracterizează prin rezistenţa de rulare şi avansare uniformă - pentru o poziţionare reproductibilă şi exactă.
